本文轉(zhuǎn)載自微信公眾號(hào)：中國(guó)科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心

近日，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心新安裝了國(guó)儀量子自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試，即將投入試運(yùn)行。

中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心是中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)公共技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)實(shí)驗(yàn)中心之一，從1979年開(kāi)始籌建。中心以“集中投入、統(tǒng)一管理、開(kāi)放公用、資源共享"為建設(shè)原則，以建立條件優(yōu)良、功能配套、管理規(guī)范、先進(jìn)高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機(jī)制為建設(shè)目標(biāo)，為培養(yǎng)創(chuàng)新人才和開(kāi)展高水平科學(xué)研究工作提供技術(shù)支撐，為社會(huì)經(jīng)濟(jì)建設(shè)提供技術(shù)保障。作為學(xué)校最早建成的大型儀器開(kāi)放平臺(tái)，中心不僅承擔(dān)著相關(guān)院系、國(guó)家研究中心、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，省部級(jí)實(shí)驗(yàn)室以及國(guó)家、省部級(jí)等各類科研項(xiàng)目的技術(shù)支持分析測(cè)試任務(wù)，同時(shí)，也對(duì)相關(guān)學(xué)科提供教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)條件與環(huán)境。

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級(jí)，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉(cāng)，擴(kuò)展接口增加至16個(gè)，快速換樣倉(cāng)最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng)，帶來(lái)了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)