國(guó)儀量子超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡-掃描電鏡SEM4000Pro
SEM4000超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款分析型熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長(zhǎng)壽命的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍。三級(jí)磁透鏡設(shè)計(jì)，束流大且連續(xù)可調(diào)，在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢(shì)。支持低真空模式，可直接觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。
掃描電子顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)
01 配備高亮度、長(zhǎng)壽命的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
02 分辨率高，30 kV下優(yōu)于0.9 nm的極限分辨率
03 三級(jí)磁透鏡設(shè)計(jì)，束流可調(diào)范圍大，最大支持 200 nA 的分析束流
04 標(biāo)配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測(cè)器和插入式背散射電子探測(cè)器
05 無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，可直接觀察磁性樣品
06 標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，中文操作軟件，讓分析工作更輕松
掃描電子顯微鏡應(yīng)用案例
掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
| 關(guān)鍵參數(shù) | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV，SE |
| 低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa |
| 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
| 加速電壓 | 200 V ~ 30 kV |
| 放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x |
| 電子槍類型 | 肖特基熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)控制 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 |
| （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控） |
| 行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm |
| T: -10°~+70°，R: 360° |
| 探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 旁側(cè)二次電子探測(cè)器（ETD） |
| 低真空二次電子探測(cè)器（LVD） |
| 插入式背散射電子探測(cè)器（BSED） |
| 選配 | 能譜儀（EDS） |
| 背散射衍射（EBSD） |
| 插入式掃描透射探測(cè)器（STEM） |
| 樣品交換倉(cāng) |
| 軌跡球&旋鈕控制板 |
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
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