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在材料高溫性能研究、相變機(jī)理分析等領(lǐng)域，傳統(tǒng)外部加熱手段往往無法實(shí)現(xiàn)微區(qū)精準(zhǔn)控溫與實(shí)時(shí)觀測(cè)的結(jié)合。國儀量子聯(lián)合中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納中心，自主研制原位加熱芯片解決方案，通過MEMS加熱芯片與雙束電鏡的深度融合，實(shí)現(xiàn)樣品在室溫至1100℃范圍內(nèi)的精準(zhǔn)控溫與微觀動(dòng)態(tài)分析，為高溫環(huán)境下材料行為研究提供全新工具。該方案采用國儀自研雙束電鏡與專用MEMS加熱芯片，控溫精度優(yōu)于0.1℃，測(cè)溫分辨率優(yōu)于0.1℃，同時(shí)具備溫度均勻性好、紅外輻射少等優(yōu)勢(shì)，有效保障高溫下的分析穩(wěn)定性。系統(tǒng)支持在加...

在材料分析與表征領(lǐng)域，單一技術(shù)往往難以同時(shí)獲取納米尺度的形貌與分子級(jí)別的化學(xué)信息。國儀量子創(chuàng)新推出電鏡-拉曼聯(lián)用解決方案，實(shí)現(xiàn)掃描電鏡高分辨率成像與拉曼光譜化學(xué)分析的真正原位融合，為多維度材料研究提供強(qiáng)大工具。國儀量子電鏡-拉曼聯(lián)用解決方案通過光路優(yōu)化與系統(tǒng)集成兩種方式，在同一平臺(tái)完成微區(qū)定位、形貌觀測(cè)與拉曼檢測(cè)，徹底解決傳統(tǒng)跨設(shè)備分析中的定位誤差問題。用戶可在SEM圖像中精準(zhǔn)鎖定目標(biāo)區(qū)域（如缺陷、界面、納米顆粒），直接激發(fā)拉曼激光，同步獲取成分、物相、應(yīng)力分布等化學(xué)結(jié)構(gòu)信息...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝的時(shí)代，晶圓級(jí)缺陷分析、失效定位與微納加工已成為提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。國儀量子推出8英寸晶圓雙束全尺寸加工解決方案，集高分辨率成像與精準(zhǔn)離子束加工于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的“觀測(cè)-分析-切割”全流程覆蓋，為半導(dǎo)體先進(jìn)制程提供強(qiáng)大技術(shù)支撐。該方案搭載150mm大行程高精度樣品臺(tái)，可支持8英寸晶圓全域無損觀測(cè)與加工，配合外置光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)與智能防碰撞算法，實(shí)現(xiàn)晶圓的快速、精準(zhǔn)定位與安全操作。系統(tǒng)配備肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，分辨率達(dá)0.9nm@15kV，離子束分辨率達(dá)3...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝節(jié)點(diǎn)的今天，晶圓缺陷檢測(cè)已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶圓全域、無需轉(zhuǎn)動(dòng)與傾斜、無損、高分辨率檢測(cè)，為先進(jìn)制程提供堅(jiān)實(shí)支撐。該方案配備超大行程樣品臺(tái)（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無需切割或轉(zhuǎn)移樣品，真正實(shí)現(xiàn)“原尺寸、原位置”觀測(cè)。系統(tǒng)搭載肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達(dá)1.0nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結(jié)構(gòu)與...

在生命科學(xué)、生物醫(yī)藥、食品檢驗(yàn)及軟物質(zhì)研究領(lǐng)域，對(duì)含水樣品、電子束敏感材料進(jìn)行高分辨率成像始終面臨巨大挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)制樣方法中的化學(xué)固定、脫水、干燥等過程極易導(dǎo)致樣品收縮、變形或結(jié)構(gòu)破壞，使觀測(cè)結(jié)果偏離真實(shí)狀態(tài)。國儀量子依托先進(jìn)的掃描電鏡技術(shù)，推出冷凍傳輸電鏡方案（Cryo-SEM），以低溫冷凍與真空傳輸為核心，實(shí)現(xiàn)對(duì)生物及敏感樣品原位、無損、高保真的顯微觀察，真正“凍結(jié)”生命微觀細(xì)節(jié)。該方案通過液氮泥快速冷凍技術(shù)，可在-210℃條件下瞬間固定樣品，最大限度保留其原始形態(tài)與化學(xué)成...