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在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝節(jié)點(diǎn)的今天，晶圓缺陷檢測(cè)已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國(guó)儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實(shí)現(xiàn)晶圓全域、無需轉(zhuǎn)動(dòng)與傾斜、無損、高分辨率檢測(cè)，為先進(jìn)制程提供堅(jiān)實(shí)支撐。
該方案配備超大行程樣品臺(tái)（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無需切割或轉(zhuǎn)移樣品，真正實(shí)現(xiàn)“原尺寸、原位置"觀測(cè)。系統(tǒng)搭載肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達(dá)1.0 nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5 nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結(jié)構(gòu)與材料。
超大行程兩軸位移臺(tái)(行程>300mm)，可實(shí)現(xiàn)12寸晶圓的全范圍觀測(cè)
國(guó)儀量子12英寸晶圓檢測(cè)方案集成自動(dòng)進(jìn)樣與光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，支持晶圓快速更換與精準(zhǔn)定位，大幅提升檢測(cè)效率與一致性。結(jié)合智能軟件系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦、像散校正與多格式圖像輸出，助力用戶高效完成從缺陷定位到工藝優(yōu)化的全流程任務(wù)。
國(guó)儀量子12寸晶圓電鏡，不僅是一臺(tái)觀測(cè)設(shè)備，更是推動(dòng)半導(dǎo)體制造邁向更高良率與更小節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵工具。
9月26-30日 武漢
2025年全國(guó)電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會(huì)
國(guó)儀量子八大電鏡解決方案
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